Vakum kapasitörü, dielektrik ortamı olarak vakumu kullanan bir kapasitördür. Bir vakum mahfazası içinde hermetik olarak kapatılmış eşmerkezli silindirik bakır elektrotlardan oluşur ve elektrotlar, yüksek-iletkenliğe sahip oksijen-içermeyen bakır şerit kullanılarak kalıpla-çekme işlemi yoluyla oluşturulur. Yalıtım zarfının malzemesine bağlı olarak, bu kapasitörler iki kategoriye ayrılır: cam-zarf türleri (CKB ve CKBB serileri dahil) ve seramik-zarf türleri (CKT, CKTB ve CKTBS serileri dahil). Yüksek voltaja dayanma yetenekleri (yüzbinlerce volta ulaşan), kompakt boyut, düşük dielektrik kaybı, yüksek nominal akım (kiloamper aralığına ulaşan RF akımları ile) ve geniş kapasitans ayar aralığı (150:1'e kadar) ile karakterize edilirler.
Bu kapasitörün elektrot yapısı, ark oluşumunu ve korona deşarjını önleyecek şekilde tasarlanmıştır; bu da onu yüksek-irtifalı ortamlarda çalışmaya uygun hale getirir. Başlıca uygulamaları arasında yayın ve iletişim ekipmanlarındaki ayarlama ve bağlantı devreleri, yarı iletken üretim sistemleri, yüksek-frekanslı endüstriyel ısıtma aparatları, tıbbi analiz ve tedavi cihazları ve yüksek-enerjili parçacık hızlandırıcılar yer alır. Potansiyel arıza modları arasında vakum sızıntısı, seramik yalıtkandaki çatlaklar ve elektrot deformasyonu yer alır; Katkıda bulunan faktörler arasında genellikle mekanik stres, yetersiz soğutma, çevresel nem ve zararlı gazların neden olduğu korozyon yer alır. Taşıma sırasında uygun darbeye-koruyucu önlemler uygulanmalıdır; bakım sırasında zarf mührünün bütünlüğü ve metal bileşenlerde korozyon olup olmadığı dikkatle incelenmelidir.